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廢硫酸酸洗液資源化技術-蒸餾技術

  • 廢棄物種類
    廢酸鹼
  • 國內外技術
    國外
  • 技術名稱
    廢硫酸酸洗液資源化技術-蒸餾技術
  • 技術簡介
    半導體製造業製程中常使用硫酸溶液作為清洗或去蝕刻阻劑用途,清洗後之硫酸廢液因含雜質,故常被排放至廢水處理場,經中和沈澱反應後產生廢水處理污泥,除增加廢棄物處理處置問題外,更因硫酸清洗溶液無法回收再利用,而須補充新液,增加製造成本支出。
    本技術係利用常壓蒸餾方式,將廢硫酸溶液加熱至340℃(硫酸之沸點),以去除水分與雜質,回收硫酸溶液經冷凝收集與成分調整後,可回送至製程使用。廢硫酸之回收率可達95%以上,回收液之硫酸濃度可高達97%以上。
  • 技術特點
    1.適用於製程線上,直接進行廠內回收。
    2.廢硫酸回收率可達95%以上。
    3.回收之硫酸濃度可達97%以上。
    4.常壓操作,無操作上之安全顧慮。
  • 資源化流程
    資源化流程圖(說明如下文)
    資源化流程說明:半導體製造業製程中常使用硫酸溶液作為清洗或去蝕刻阻劑用途,清洗後之硫酸廢液因含雜質,故常被排放至廢水處理場,經中和沈澱反應後產生廢水處理污泥,除增加廢棄物處理處置問題外,更因硫酸清洗溶液無法回收再利用,而須補充新液,增加製造成本支出。 本技術係利用常壓蒸餾方式,將廢硫酸溶液加熱至340℃(硫酸之沸點),以去除水分與雜質,回收硫酸溶液經冷凝收集與成分調整後,可回送至製程使用。廢硫酸之回收率可達95%以上,回收液之硫酸濃度可高達97%以上。
  • 應用對象及領域
    1.半導體製造業。
    2.金屬表面處理業。
    3.鋼鐵業。
    4.資源回收再利用機構。
  • 資源化效益
    本技術回收之硫酸溶液,不僅回收率高達95%以上,回收液中之硫酸濃度更可高達97%以上,可大幅節省廢酸處理及後續廢水污泥處置費用,降低酸洗處理成本。
  • 資料來源
    1.Hiroshi Ogata, Norio Tanaka, Reduction of Waste in Semiconductor Manufacturing Plant (Sulfuric Acid Recycling Technology),Oki Technical Review 160, January 1998.
    2.Yoshihiro Koyama, Sulfuric Acid Recovery and Purification Technology, Ultra Clean Technology, 9, 3, 1997, 159-162.
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