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含氟廢液資源化技術-(一)氟化鈣結晶法

• 廢棄物種類
  廢液
• 國內外技術
  國外
• 技術名稱
  含氟廢液資源化技術-(一)氟化鈣結晶法
• 技術簡介
  光電或半導體製造業於蝕刻製程中使用大量氫氟酸，使用過程除少量逸散外，大部分伴隨清洗水排入廢水處理系統。
  本技術使用緩衝槽與調整槽調節氟系廢水進流濃度與廢水pH值，利用直徑0.3～0.7 mm矽砂擔體在結晶槽中作為結晶核種，擔體床在結晶槽中呈流體化狀態，加入CaCl2使含氟廢液之氟離子在矽砂擔體表面形成氟化鈣結晶體，當晶體粒徑達1～3 mm後，排出槽體外再經過脫水乾燥後，進入晶體貯槽。
  
• 技術特點
  1.製成之氟化鈣結晶可作為助熔劑或造渣劑。
  2.適用於1,000 mg／L以下之低濃度含氟廢水，結晶體純度大於90％，含水率小於10％。
  
• 資源化流程
  

  資源化流程說明：光電或半導體製造業於蝕刻製程中使用大量氫氟酸，使用過程除少量逸散外，大部分伴隨清洗水排入廢水處理系統。 本技術使用緩衝槽與調整槽調節氟系廢水進流濃度與廢水pH值，利用直徑0.3～0.7 mm矽砂擔體在結晶槽中作為結晶核種，擔體床在結晶槽中呈流體化狀態，加入CaCl2使含氟廢液之氟離子在矽砂擔體表面形成氟化鈣結晶體，當晶體粒徑達1～3 mm後，排出槽體外再經過脫水乾燥後，進入晶體貯槽。
• 應用對象及領域
  1.半導體製造業。
  2.光電材料及元件製造業。
  
• 資源化效益
  若以污染量1,000 kg F/day、水量1,000 CMD的處理場為基準，本技術操作費用每年約1,500萬元，而傳統混凝沉澱法每年約2,600萬元，故可節省約40％以上之操作費用，且所需的處理場地小於傳統方法，因此也節省了土地成本，此外，氟化鈣結晶亦可做造渣劑或助熔劑販售。
• 資料來源
  1.李茂松、廖啟鐘、邵信、游惠宋、周珊珊、黃森元、陸志斌、陳善南，氟系廢水流體化床結晶資源回收技術，1996工業污染防治工程實務技術研討會論文集，民國85年11月。
  2.經濟部工業局，半導體廢棄物資源化技術手冊，民國90年12月。
  3.經濟部技術處，污染防治技術開發及推廣計畫成果特刊，民國86年12月。