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含氟廢液資源化技術-(二)冰晶石結晶法

  • 廢棄物種類
    廢液
  • 國內外技術
    國外
  • 技術名稱
    含氟廢液資源化技術-(二)冰晶石結晶法
  • 技術簡介
    光電或半導體製造業於蝕刻製程中使用大量氫氟酸,使用過程除少量逸散外,大部分伴隨清洗水排入廢水處理系統。
    本技術利用矽砂擔體在結晶槽中作為結晶核種,擔體床在結晶槽中呈流體化狀態,將含氟廢水及含鈉、鋁離子之藥劑加入結晶槽內,以控制低過飽和濃度及適當酸鹼度,使廢液中之氟離子在矽砂擔體表面形成冰晶石結晶體,排出槽體外再經過脫水乾燥為成品,流體化床出流水經添加鋁鹽及液鹼調整pH值至中性,使處理水中之氫氧化鋁吸附殘餘之氟化物形成共沉澱,共沉澱物再經添加酸鹼藥劑調整pH值後,將會溶解出鋁離子,可重新引入流體化床內再次進行處理程序。
  • 技術特點
    1.製成之冰晶石純度高,可作為化工級原料、玻璃陶瓷製造之助熔劑。
    2.適用於5,000 mg/L以上之高濃度含氟廢水,去除率可達97%。
    3.處理過程中所使用的鋁藥劑易回收循環利用。
    4.操作成本遠低於傳統混凝沉澱法。
  • 資源化流程
    資源化流程圖(說明如下文)
    資源化流程說明:光電或半導體製造業於蝕刻製程中使用大量氫氟酸,使用過程除少量逸散外,大部分伴隨清洗水排入廢水處理系統。 本技術利用矽砂擔體在結晶槽中作為結晶核種,擔體床在結晶槽中呈流體化狀態,將含氟廢水及含鈉、鋁離子之藥劑加入結晶槽內,以控制低過飽和濃度及適當酸鹼度,使廢液中之氟離子在矽砂擔體表面形成冰晶石結晶體,排出槽體外再經過脫水乾燥為成品,流體化床出流水經添加鋁鹽及液鹼調整pH值至中性,使處理水中之氫氧化鋁吸附殘餘之氟化物形成共沉澱,共沉澱物再經添加酸鹼藥劑調整pH值後,將會溶解出鋁離子,可重新引入流體化床內再次進行處理程序。
  • 應用對象及領域
    1.半導體製造業。
    2.光電材料及元件製造業。
  • 資源化效益
    以本技術進行含氟廢液處理所獲得之資源化產品冰晶石,其售價約每公噸20,000至35,000元,具有經濟價值,且所需的處理場地較傳統混凝沉澱方法小,約可節省30%土地成本。
  • 資料來源
    1.李茂松、廖啟鐘、張王冠、邵信、倪慎如、李天菴,積體電路產業氫氟酸廢水結晶處理整合回收技術,1998工業污染防治工程實務技術研討會論文集,民國87年11月。
    2.經濟部工業局,半導體廢棄物資源化技術手冊,民國90年12月。
    3.經濟部技術處,污染防治技術開發及推廣計畫成果特刊,民國86年12月。
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